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什么叫净化间或无尘室(Clean Room)?

发布日期:2011年11月04日来源: 查看次数:8512

     无尘等级的划分 划分依据有Fed-Std-209E 和ISO-14644。目前国内主要参照Fed-Std-209E 标准来定义无尘室的等级。即每立方英尺0.5um尘埃的最多数量Fed-Std-209E。 

ISO-14644

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