（1）擦拭（WIPE TEST）
（2）空气粒子数APC（Airborne Particle Counter）
（3）液体粒子数LPC （Liquid Particle Counter）
（4）离子数测试IC（Ion Content）
（5）挥发性气体与凝结物（Outgassing）
（6）红外光谱FTIR（（Fourier Transform Infra-Red）
±硅、氨基化合物（Silicon, Amide Detection）
±邻苯二甲酸二辛酯DOP -- Dioctyl phthalate
（7）非挥发性残留物NVR（Non Volatile Residue）
（8）DI水细菌数测试（Bacteria）
（9）透射电镜及元素分析（SEM/EDX）
