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脏污是指对产品合格率或品质稳定性产生不利影响,造成直接或间接损害的不必要物质。脏污的主要种类有微粒类脏污、离子类脏污以及有机类脏污。无尘室脏污控制是将对产品合格率和可靠性有不利影响的所有人员、操作、设备、设施、物料、环境等联系考虑的全系统控制。